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e-flow設備專用溶氣模組

e-flow設備專用溶氣模組

在精密清洗的半導體產品的過程中,通常用離子幾乎不存在的超純水清洗,這樣很容易產生靜電。DIW在Darlly自主研發(fā)的模組內的中空纖維膜內部流動,其間,從中空纖維膜外側CO2溶入DIW 內,溶解的二氧化碳在DIW內發(fā)生離子化,可使DIW 具有導電性,消...

產品應用工藝介紹

在精密清洗的半導體產品的過程中,通常用離子幾乎不存在的超純水清洗,這樣很容易產生靜電。

導致發(fā)生下述不良品的原因之一:
(1)破壞主板電路
(2)微粒粉塵再次附著

溶氣模組原理圖:

DIW在Darlly自主研發(fā)的模組內的中空纖維膜內部流動,其間,從中空纖維膜外側CO2溶入DIW 內,溶解的二氧化碳在DIW內發(fā)生離子化,可使DIW 具有導電性,消除靜電。而且通過溶氣模組可以很好的控制和調節(jié)出水的電阻率。

▎產品規(guī)格


規(guī)格型號DL-2.5*8DL-4*10
膜面積1.3㎡2.5㎡
流量范圍0-15L/min0-90L/min
膜絲材質PTFE/PMP/PPPTFE/PMP/PP
外殼材質PPPP
液側接頭規(guī)格1/4″ NPT3/4″ NPT
真空側接頭規(guī)格Φ6 TubeΦ6 Tube
工作壓力0-0.3Mpa0-0.3Mpa
最高工作溫度45℃45℃
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