e-flow設備專用溶氣模組
在精密清洗的半導體產品的過程中,通常用離子幾乎不存在的超純水清洗,這樣很容易產生靜電。DIW在Darlly自主研發(fā)的模組內的中空纖維膜內部流動,其間,從中空纖維膜外側CO2溶入DIW 內,溶解的二氧化碳在DIW內發(fā)生離子化,可使DIW 具有導電性,消...
產品應用工藝介紹
在精密清洗的半導體產品的過程中,通常用離子幾乎不存在的超純水清洗,這樣很容易產生靜電。
導致發(fā)生下述不良品的原因之一:
(1)破壞主板電路
(2)微粒粉塵再次附著
溶氣模組原理圖:
DIW在Darlly自主研發(fā)的模組內的中空纖維膜內部流動,其間,從中空纖維膜外側CO2溶入DIW 內,溶解的二氧化碳在DIW內發(fā)生離子化,可使DIW 具有導電性,消除靜電。而且通過溶氣模組可以很好的控制和調節(jié)出水的電阻率。
規(guī)格型號 | DL-2.5*8 | DL-4*10 |
膜面積 | 1.3㎡ | 2.5㎡ |
流量范圍 | 0-15L/min | 0-90L/min |
膜絲材質 | PTFE/PMP/PP | PTFE/PMP/PP |
外殼材質 | PP | PP |
液側接頭規(guī)格 | 1/4″ NPT | 3/4″ NPT |
真空側接頭規(guī)格 | Φ6 Tube | Φ6 Tube |
工作壓力 | 0-0.3Mpa | 0-0.3Mpa |
最高工作溫度 | 45℃ | 45℃ |