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有機溶劑體系專用脫氣膜組

有機溶劑體系專用脫氣膜組

在微電子領域中,集成電路,平板顯示器的制造過程中,會使用到大量的濕化學品,隨著這些化學品的系統中不斷的加壓減壓,會產生大量的微氣泡,這些微氣泡會對高端的制成工藝帶來極大的危害,也是常見的缺陷來源之一。基于這類問題缺陷,Darlly 自...

產品應用工藝介紹


在微電子領域中,集成電路,平板顯示器的制造過程中,會使用到大量的濕化學品,隨著這些化學品的系統中不斷的加壓減壓,會產生大量的微氣泡,這些微氣泡會對高端的制成工藝帶來極大的危害,也是常見的缺陷來源之一。基于這類問題缺陷,Darlly 自主研發的有機溶劑體系專用脫氣膜產品,能夠有效的去除半導體、FPD制造中各種抗蝕劑、稀釋劑、化學制劑等微氣泡問題。

Darlly有機溶劑體系專用脫氣膜特點

  • 優異的疏水性能
  • 優異的化學穩定性

Darlly有機溶劑體系專用脫氣膜的應用

  • 光刻膠及溶劑脫氣
  • 顯影液的脫氣
  • 臭氧水的充氣

▎產品規格


規格型號DL-Φ102*180DL-Φ102*260DL-Φ102*440DL-Φ165*450
膜面積1.0 m21.5 m22.5 m23.0 m2
流量范圍0-100 ml/min0-300 ml/min0-500 ml/min0-900 ml/min
膜絲材質PTFEPTFEPTFEPTFE
外殼材質SS304SS304SS304SS304
液側接頭規格1/4" Flaretek1/4" Flaretek3/8" Flaretek1/4" Flaretek
真空側接頭規格Rc1/8"Rc1/8"Rc1/8"Rc1/4"
工作壓力0-0.3Mpa0-0.3Mpa0-0.3Mpa0-0.3Mpa
最高工作溫度45℃45℃45℃45℃

脫氣效率曲線

壓損曲線圖

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