有機溶劑體系專用脫氣膜組
在微電子領域中,集成電路,平板顯示器的制造過程中,會使用到大量的濕化學品,隨著這些化學品的系統中不斷的加壓減壓,會產生大量的微氣泡,這些微氣泡會對高端的制成工藝帶來極大的危害,也是常見的缺陷來源之一。基于這類問題缺陷,Darlly 自...
產品應用工藝介紹
在微電子領域中,集成電路,平板顯示器的制造過程中,會使用到大量的濕化學品,隨著這些化學品的系統中不斷的加壓減壓,會產生大量的微氣泡,這些微氣泡會對高端的制成工藝帶來極大的危害,也是常見的缺陷來源之一。基于這類問題缺陷,Darlly 自主研發的有機溶劑體系專用脫氣膜產品,能夠有效的去除半導體、FPD制造中各種抗蝕劑、稀釋劑、化學制劑等微氣泡問題。
Darlly有機溶劑體系專用脫氣膜特點
Darlly有機溶劑體系專用脫氣膜的應用
規格型號 | DL-Φ102*180 | DL-Φ102*260 | DL-Φ102*440 | DL-Φ165*450 |
膜面積 | 1.0 m2 | 1.5 m2 | 2.5 m2 | 3.0 m2 |
流量范圍 | 0-100 ml/min | 0-300 ml/min | 0-500 ml/min | 0-900 ml/min |
膜絲材質 | PTFE | PTFE | PTFE | PTFE |
外殼材質 | SS304 | SS304 | SS304 | SS304 |
液側接頭規格 | 1/4" Flaretek | 1/4" Flaretek | 3/8" Flaretek | 1/4" Flaretek |
真空側接頭規格 | Rc1/8" | Rc1/8" | Rc1/8" | Rc1/4" |
工作壓力 | 0-0.3Mpa | 0-0.3Mpa | 0-0.3Mpa | 0-0.3Mpa |
最高工作溫度 | 45℃ | 45℃ | 45℃ | 45℃ |
脫氣效率曲線
壓損曲線圖